浏览器自带分享功能也很好用哦~微纳结构表征测试
MEMS产品通常具有微米级、、、、纳米级的叠层、、空腔、、台阶、、、薄膜结构，，，对于晶圆基底表面洁净度、、、、结构棱角、、、、膜层关系等详实分析，，有利于评估加工精度并优化方案；尊龙时凯MEMS微纳加工平台提供一站式微纳结构测试服务，，，，涵盖显微观测与能谱分析系统、、、、探针台阶仪等设备及测试能力。。
探针台阶测试 | |
单次扫描长度：0~150mm | 扫描速度：2~25000μm/s |
垂直扫描范围：0~1000μm | 采样率：5~2000Hz |
测量精度：±10nm | 测量精度：±4Å |
作为接触式表面形貌测量仪器，，，台阶仪探针在器件表面滑动时，，微小的表面峰谷结构将使探针上下运动，，，，以此测量台阶高度、、、粗糙度、、波纹度、、、磨损度等多种表面形貌技术参数，，，，反映真实的轮廓信息。。
微纳结构表征测试
MEMS产品通常具有微米级、、纳米级的叠层、、、空腔、、、、台阶、、、薄膜结构，，对于晶圆基底表面洁净度、、、、结构棱角、、、、膜层关系等详实分析，，，有利于评估加工精度并优化方案；尊龙时凯MEMS微纳加工平台提供一站式微纳结构测试服务，，，涵盖显微观测与能谱分析系统、、、探针台阶仪等设备及测试能力。。。
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测量精度：±10nm | 测量精度：±4Å |
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