• 器件性能及光谱测试

  针对MEMS传感器性能指标，，
  ，
  ，尊龙时凯提供以椭偏测试
  、、、光谱测试
  、、
  、激光多普勒测振等测试项目，，可对材料膜厚
  、、、折射率、、、、吸收率
  、、、、透光度、、、光波强度
  、、振动模态等性能指标进行更准确测量，，，
  ，以保障MEMS芯片工艺质量和器件性能。。。

       多普勒测振（LDV）可有效完成器件表面非接触式测量，，，，具有高空间分辨率、、
、快速测量反应和微米级光斑等特点，
，面向MEMS器件的振动频率
、、
、速度、、位移等检测需求更具优异性
。。
。