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光谱椭偏测试

采用双旋转补偿器PCr-1-SCr-2A调制技术的椭圆偏振光谱仪，，，，覆盖210nm~1700nm的深紫外、、、、近红外光谱波段，，适用于针对MEMS光学传感器的光学膜厚度、、、、光学常数、、、、薄膜材料平整性等方面进行无接触测量评估。。。。

参数光谱范围：2.5μm~25μm

产品参数

光谱范围：2.5μm~25μm

测量模式：腔室测量、、、贴近测量

分辨率：＞2cm-1

信噪比：RMS优于150000:1

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详细信息

器件性能及光谱测试
针对MEMS传感器性能指标，，，尊龙时凯提供以椭偏测试、、、、光谱测试、、、激光多普勒测振等测试项目，，，，可对材料膜厚、、折射率、、、、吸收率、、、透光度、、、光波强度、、、振动模态等性能指标进行更准确测量，，，，以保障MEMS芯片工艺质量和器件性能。。

尊龙时凯配备采用双旋转补偿器PCr-1-SCr-2A调制技术的椭圆偏振光谱仪，，，，覆盖210nm~1700nm的深紫外、、近红外光谱波段，，适用于针对MEMS光学传感器的光学膜厚度、、光学常数、、、、薄膜材料平整性等方面进行无接触测量评估。。

光谱椭偏测试

采用双旋转补偿器PCr-1-SCr-2A调制技术的椭圆偏振光谱仪，，，覆盖210nm~1700nm的深紫外、、、近红外光谱波段，，，，适用于针对MEMS光学传感器的光学膜厚度、、、、光学常数、、、、薄膜材料平整性等方面进行无接触测量评估。。。

光谱范围：2.5μm~25μm

测量模式：腔室测量、、、、贴近测量

分辨率：＞2cm-1

信噪比：RMS优于150000:1

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详细信息

器件性能及光谱测试
针对MEMS传感器性能指标，，，尊龙时凯提供以椭偏测试、、、、光谱测试、、、激光多普勒测振等测试项目，，，可对材料膜厚、、、、折射率、、、、吸收率、、、、透光度、、、光波强度、、振动模态等性能指标进行更准确测量，，，，以保障MEMS芯片工艺质量和器件性能。。。